激光投影中MEMS振镜技术-激光振镜系统
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1、静电mems振镜原理
结构设计差异、制造过程差异。结构设计差异:双轴MEMS振镜的两个轴向采用了不同的结构设计,导致两个方向的振动频率不同。制造过程差异:制造双轴MEMS振镜的过程中,存在制造误差或工艺差异,导致两个方向的振动频率不同。
MEMS 采用二维微振镜,仅需要少量激光收发单元,通过一面MEMS微振镜来反射激光器的光束即可实现对目标物体的3D扫描,对激光器和探测器的数量需求明显减少。
预弓度,英文名称为pre-tilt,是指通过控制MEMS镜片表面基片与微结构层之间的相对角度,从而在镜面表面产生的倾斜角度。实际上,预弓度是镜子的一种基础参数,它决定了整个MEMS镜的性能,包括精度、灵敏度、响应时间等。因此,预弓度的优化是MEMS镜技术发展的重要方向。
表现良好。微振镜是采用光学MEMS技术制造的,把微光反射镜与MEMS驱动器集成在一起的光学MEMS器件。赛微电子的MEMS微镜(也称“MEMS微振镜”、“MEMS扫描镜”)能够实现激光雷达、激光显示的小型化、低成本、高精度,助力推进MEMS微镜在车载和AR/VR等领域的应用。
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