微电子激光振镜（激光振镜校正方法）
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1、mems振镜是啥？
MEMS振镜是一种微机械系统的振动器件，可以在微米尺度的范围内进行快速且精确的振动。
其由微机械加工技术制造而成，通常由一块硅片上刻出结构特定的振动器部件。MEMS振镜因其在光学、通信、生物医学和工业控制等领域的广泛应用而备受关注。
MEMS振镜的振动频率非常高，达到了每秒数万次甚至上亿次，相比传统的机械振动器件，具有更高的精度、更小的体积和更低的功耗。
其在光学成像中的应用尤为广泛，可以通过调整振动频率和振动幅度来实现激光束的方向调整和反射角度控制，从而实现高速扫描成像及激光显示等功能。除了光学成像，MEMS振镜还可应用于惯性导航、稳像、机器人控制等领域。
在医疗领域，MEMS振镜也被用于诊断和治疗，可以通过控制振动频率和振动幅度来刺激或调节人体内部组织和细胞的活动。
未来随着微加工和微纳技术的不断进步，MEMS振镜将具有更广泛的应用前景。
MEMS振镜是一种基于微电子机械系统（MEMS）技术制造的微型振镜，用于光学投影、激光扫描等领域。MEMS振镜利用微小的电力信号控制振镜的振动，实现对光线的精密控制。它具有体积小、重量轻、功耗低等特点，能够实现高速、高精度的振动控制，被广泛应用于虚拟现实、激光显示、生物医学等领域。
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