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1. 静电mems振镜原理

1、静电mems振镜原理

静电mems振镜是一种基于微机电系统技术制作而成的微小可驱动反射镜。静电mems振镜的工作原理主要依赖于静电力。静电力是电荷之间的相互作用力，当施加在mems振镜上的电场改变时，振镜的形状也会发生相应的变化，从而实现对反射光束的控制。

结构设计差异、制造过程差异。结构设计差异：双轴MEMS振镜的两个轴向采用了不同的结构设计，导致两个方向的振动频率不同。制造过程差异：制造双轴MEMS振镜的过程中，存在制造误差或工艺差异，导致两个方向的振动频率不同。

预弓度，英文名称为pre-tilt，是指通过控制MEMS镜片表面基片与微结构层之间的相对角度，从而在镜面表面产生的倾斜角度。实际上，预弓度是镜子的一种基础参数，它决定了整个MEMS镜的性能，包括精度、灵敏度、响应时间等。因此，预弓度的优化是MEMS镜技术发展的重要方向。

-50%。根据查询mems振镜资料知，mems振镜在激光雷达中占比是40-50%。激光雷达的本质是一种以激光为辐射源的主动探测器，通过测距和测角来实现探测目的。

SGS中国互联与产品事业群总经理赵晖表示：满足车规级可靠性是车载激光雷达大规模应用的必经之路。

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