mems振镜程序_mems振镜工作原理-维尔振镜网

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MEMS 采用二维微振镜，仅需要少量激光收发单元，通过一面MEMS微振镜来反射激光器的光束即可实现对目标物体的3D扫描，对激光器和探测器的数量需求明显减少。

新一代3D激光雷达有望嵌入自动驾驶汽车，并将于2020年上半年发布，于2020年秋季开始全面生产。一径科技车规级固态激光雷达？一径科技在CES2020上发布了面向车规级量产的MEMS激光雷达全套解决方案，包括长距、中短距和盲区的探测。

以 2022 年为例，速腾聚创卖出的57，000台激光雷达中，有36，600台是 M1，占比超过64%。

这样MEMS 振镜尺寸就可以大一点，性能就高一点。5 个激光雷达水平联合扫描，等于性能提升了 5 倍。速腾聚创为此申请了专利。

主要原理为：通过MEMS把机械结构集成到体积较小的硅基芯片上，并且内部有可旋转的MEMS微振镜，通过微振镜改变单个发射器的发射角度，从而达到不用旋转外部结构就能扫描的效果。

表现良好。微振镜是采用光学MEMS技术制造的，把微光反射镜与MEMS驱动器集成在一起的光学MEMS器件。

1、该系统工作原理主要依赖于静电力。静电mems振镜是一种基于微机电系统技术制作而成的微小可驱动反射镜。静电mems振镜的工作原理主要依赖于静电力。

2、频率和振幅的定义不同，影响因素不同，所以二者没有直接关系。

3、脉冲问题：发射器需要发射高质量的脉冲光，接收器接受脉冲光的时候需要尽量保持信号不失真。对于同一距离的物体测距时，得到的回波信号可能不一样，如下图的黑白纸，这就需要特殊的处理方式来处理。

4、该激光雷达不受其他传感器或阳光的干扰，并且其功耗远远低于其他同性能产品，从而提高了自动驾驶的安全性和可扩展性。

5、MEMS微振镜是一种硅基半导体元器件，技术成熟，集成度高，它的引入可以帮助激光雷达减少马达、多棱镜等机械运动装置，减小尺寸空间，同时还可以减少激光器和探测器数量，极大地降低成本。

6、另外，由于全向照明的技术原理，FLASH 激光雷达在测距上有绝对的局限性——很难超过50m（要达到更长的探测距离，需要更高的激光）波长，所以不适合自动驾驶。

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