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椭圆偏振仪

椭偏仪测折射率和薄膜厚度：通常表示设介质层为入射角的度数和折射范围的厚度。椭圆偏振光在样品表面反射后，偏振状态会发生变化，利用这一特性可以测量固体上介质薄膜的厚度和折射率。

椭偏仪，是一种用于探测薄膜厚度、光学常数以及材料微结构的光学测量设备。由于并不与样品接触，对样品没有破坏且不需要真空，使得椭偏仪成为一种极具吸引力的测量设备。

椭偏仪测薄膜厚度的基本原理如下：椭偏仪通过使用一系列的偏振器和相位板，改变入射光的偏振态，如线偏振或椭圆偏振，在通过薄膜后，根据薄膜对入射光偏振态的影响，可得到反射光和透射光的偏振态。

椭圆偏振是一个很敏感的薄膜性质测量技术，且具有非破坏性和非接触之优点。分析自样品反射之偏振光的改变，椭圆偏振技术可得到膜厚比探测光本身波长更短的薄膜资讯，小至一个单原子层，甚至更小。

分析自样品反射之极化光的改变，椭圆偏振技术可得到膜厚比探测光本身波长更短的薄膜资讯，小至一个单原子层，甚至更小。椭圆仪可测得复数折射率或介电函数张量，可以此获得基本的物理参数，并且这与各种样品的性质，包括形态、晶体质量、化学成分或导电性，有所关联。

椭圆偏振光是由一个椭圆偏振干涉仪产生的光，它的特点是光线的振动方向呈椭圆形，且随着光的传播方向不断旋转。部分偏振光是一种振动方向和传播方向之间有一个固定夹角的光，它的特点是光线的振动方向和传播方向之间有一个固定的夹角。

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