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椭圆偏振仪

对于椭圆偏振光谱仪的使用，选择适当的入射角度至关重要。通常，一个角度能够满足大多数应用需求。若样品较薄，推荐使用接近基底布儒断特角的角度以获得最佳灵敏度与准确性。对于多数样品而言，设置入射角为70度（接近硅基底的布儒断特角）就足够了，无需特别考虑基底的布偶斯特角。

椭偏仪，是一种用于探测薄膜厚度、光学常数以及材料微结构的光学测量设备。由于并不与样品接触，对样品没有破坏且不需要真空，使得椭偏仪成为一种极具吸引力的测量设备。

已知入射光的偏振态，偏振光在样品表面被反射，测量得到反射光偏振态（幅度和相位），计算或拟合出材料的属性。入射光束（线偏振光）的电场可以在两个垂直平面上分解为矢量元。P平面包含入射光和出射光，s平面则是与这个平面垂直。类似的，反射光或透射光是典型的椭圆偏振光，因此仪器被称为椭偏仪。

椭圆偏振是一个很敏感的薄膜性质测量技术，且具有非破坏性和非接触之优点。分析自样品反射之偏振光的改变，椭圆偏振技术可得到膜厚比探测光本身波长更短的薄膜资讯，小至一个单原子层，甚至更小。

椭偏仪测折射率和薄膜厚度：通常表示设介质层为入射角的度数和折射范围的厚度。椭圆偏振光在样品表面反射后，偏振状态会发生变化，利用这一特性可以测量固体上介质薄膜的厚度和折射率。

分析自样品反射之极化光的改变，椭圆偏振技术可得到膜厚比探测光本身波长更短的薄膜资讯，小至一个单原子层，甚至更小。椭圆仪可测得复数折射率或介电函数张量，可以此获得基本的物理参数，并且这与各种样品的性质，包括形态、晶体质量、化学成分或导电性，有所关联。

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