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多功能椭圆偏振仪

1、椭偏仪，是一种用于探测薄膜厚度、光学常数以及材料微结构的光学测量设备。由于并不与样品接触，对样品没有破坏且不需要真空，使得椭偏仪成为一种极具吸引力的测量设备。

2、在理解椭圆偏振技术的运作原理时，首先需要从基本原理入手。技术的核心在于分析光的偏振状态如何在不同材料表面反射时发生变化。实验细节包括选择合适的实验装置、收集数据以及对数据进行分析。实验装置可能包括椭圆偏振仪，而数据的搜集和分析则依赖于专业软件和算法。

3、此技术可用单一波长或光谱式的椭偏仪，光谱式原位椭偏仪若采用多通道之侦检器，如CCD，则可同时量测其研究光谱范围内所有波长之椭圆偏振参数。椭圆偏振之孔隙测定利用挥发性物质在不同压力下对不同之孔洞有其不同的吸附及脱附之特性，测量材料之光学性质及厚度之改变，可得到其孔洞之性质。

4、椭圆偏振技术实验细节包括了实验装置与数据搜集以及数据分析。光源放射出的电磁波通过偏光镜后，成为线性偏振光。此光线可能经过补偿镜片，选择性地通过，然后打在薄膜样品上。反射的电磁波可能再次经过补偿镜片，最后穿过分析镜的偏光镜，进入侦检器。

5、椭偏仪测薄膜厚度的基本原理如下：椭偏仪通过使用一系列的偏振器和相位板，改变入射光的偏振态，如线偏振或椭圆偏振，在通过薄膜后，根据薄膜对入射光偏振态的影响，可得到反射光和透射光的偏振态。

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