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椭圆偏振仪

对于椭圆偏振光谱仪的使用,选择适当的入射角度至关重要。通常,一个角度能够满足大多数应用需求。若样品较薄,推荐使用接近基底布儒断特角的角度以获得最佳灵敏度与准确性。对于多数样品而言,设置入射角为70度(接近硅基底的布儒断特角)就足够了,无需特别考虑基底的布偶斯特角。

椭偏仪是一种精密的光学仪器,用于研究材料的光学性质。其工作原理基于入射线偏振光在样品表面的反射,通过测量反射光的偏振状态(振幅和相位)来推断材料特性。入射光的电场在P平面(与入射和反射光共线)和s平面(垂直于P平面)上分解,反射光为椭圆偏振,这使得椭偏仪得名。

已知入射光的偏振态,偏振光在样品表面被反射,测量得到反射光偏振态(幅度和相位),计算或拟合出材料的属性。入射光束(线偏振光)的电场可以在两个垂直平面上分解为矢量元。P平面包含入射光和出射光,s平面则是与这个平面垂直。类似的,反射光或透射光是典型的椭圆偏振光,因此仪器被称为椭偏仪。

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