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赛微电子的微振镜性能如何?

1、这样MEMS 振镜尺寸就可以大一点，性能就高一点。5 个激光雷达水平联合扫描，等于性能提升了 5 倍。 速腾聚创为此申请了专利。

2、主要原理为：通过MEMS把机械结构集成到体积较小的硅基芯片上，并且内部有可旋转的MEMS微振镜，通过微振镜改变单个发射器的发射角度，从而达到不用旋转外部结构就能扫描的效果。

3、表现良好。微振镜是采用光学MEMS技术制造的，把微光反射镜与MEMS驱动器集成在一起的光学MEMS器件。

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